SEM中用的加速电压比TEM低.典型值在1kV到30kV之间。电压的选 择取决于材料的性质、需要的放大倍率和图像分辨率。一般来说,高分辨率的工 作需要较小的光束立径,因此需要用高的加速电压来产生较强的发射信号以便成 像。不过,SEM中高加速电压会导致电子束对样品的穿透厚度增加 (比如AlSkeV-lnm, 30keV-10nm)。图像...
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