元素定量定性方面,电子探针与EDS的区别在于电子探针采用的是波谱(WDS)分析,EDS采用的是能谱分析。为了有助于理解电子探针,同学们可以将它认为是一台EDS功能更为强大(灵敏度以及分辨率都超过EDS一个数量级)的扫描电镜(EPMA同时也具备SEM各类功能)。另外,电子探针也能对超轻元素进行准确定量分析(B、C、N、O、F),这...
扫描电镜也可做微区成分,不过一般都用EDS,虽然很快,但是精度差。电子探针的分析电流和分析元素范围都要比扫描电镜宽。 2.电子探针用的是波谱分析,扫描电镜用能谱分析。EPMA测试元素的原理与能谱不同,一道晶体一次仅能测试一个元素。 电子探针用来做波谱成分分析是由于它的电子束要比一般扫描电镜稳定的多的缘故,通过...
1.WDS探测限为0.01%-0.05%; EDS探测限为0.1%-0.5% 电子探针EPMA 的WDS具有更低的检出限,可以分析痕量元素,且超轻元素(,B ~gF)定量分析准确度远高于扫扫描电镜SEM上的 EDS射线,波谱仪检测到的成分含量下限为0.01%,高于扫描电镜上所配置的能谱仪的检测下限0.1%一个数量级,且在分析中使用与材料基体成分相近的...
1.WDS探测限为0.01%-0.05%; EDS探测限为0.1%-0.5% 电子探针EPMA 的WDS具有更低的检出限,可以分析痕量元素,且超轻元素(,B ~gF)定量分析准确度远高于扫扫描电镜SEM上的 EDS射线,波谱仪检测到的成分含量下限为0.01%,高于扫描电镜上所配置的能谱仪的检测下限0.1%一个数量级,且在分析中使用与材料基体成分相近的...
二、EPMA和SEM不同点: 1.WDS探测限为0.01%-0.05%; EDS探测限为0.1%-0.5% 电子探针EPMA 的WDS具有更低的检出限,可以分析痕量元素,且超轻元素(,B ~gF)定量分析准确度远高于扫扫描电镜SEM上的 EDS射线,波谱仪检测到的成分含量下限为0.01%,高于扫描电镜上所配置的能谱仪的检测下限0.1%一个数量级,且在分析中...