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电子探针X射线显微分析仪，简称电子探针。是指以聚焦的高速电子来激发出试样表面组成元素的特征X射线，并根据X射线的波长和强度，对微区成分进行定性或定量分析的一种材料物理仪器。电子探针分析的原理是以电子束轰击试样表面，击出表面组成元素的原子内层电子，使原子电离，此时外层电子迅速填补空位而释放能量，从而产生...