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瑞红RZJ-304光刻胶光刻工艺研究
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(NaturalScience)V0lI32NO.3SeD.2015瑞红RZJ一304光刻胶光刻工艺研究庞梦瑶,程新ft.IJ,秦长发,沈娇艳,唐运海,王冰z(1.苏州科技学院数理学院,江苏苏卅I215009;2.昆山双桥传感器测控技术有限公司,江苏昆山215321)摘要:利用光刻技术对瑞红RZJ一304正性光刻胶进行光刻工艺研究,用透射式光栅作为掩模版,通过改变光刻步骤...
商品名称:定制苏州瑞红J90G光刻胶J04正性光刻胶0正胶显影 正型光刻胶RZJ-304 500ml 商品编号:10104286418885 店铺:稳捷工控自动化专营店 货号:161965 类别:其他 适用范围:其他课程实验 材质:其他 更多参数>> 商品介绍加载中... 售后保障 卖家服务 京东承诺 ...
利用光刻技术对瑞红RZJ-304正性光刻胶进行光刻工艺研究,用透射式光栅作为掩模版,通过改变光刻步骤中的前烘时间,曝光时间,显影时间等来研究光刻效果.实验结果表明,掩模版图形被成功地转移到了硅片基底上,显影后光刻胶厚度均匀,光刻胶线条呈周期性排列,得到了与掩模版尺寸一致的图形.这说明得到了适合RZJ-304光刻胶的...
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