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ASML光刻机镜头的物镜系统是将光掩模上的图形精确地投影到硅片上的关键组件。物镜系统的作用是将光线聚焦到硅片上,以形成所需的图形。物镜系统的性能直接影响到光刻的精度和分辨率。 二、物镜系统的性能指标 物镜系统的性能指标包括分辨率、深度聚焦、畸变、色差等...
OCAD给出双高斯照相物镜初始设计的思路及方法就是为使设计者了解该镜头的设计思路及各结构单元的功能,掌握设计及优化技巧。 由于双高斯照相物镜结构的对称性,原则上所有横向像差都能自动补偿,因此在设计思路上只着眼于纵向像差的平衡设计。为此在设计过程中首先从设计其半部系统入手,然后再经过镜像处理形成双高斯照相物...
与目前的六镜片极紫外投影物镜系统相比,极紫外光源的输出功率需求可降低 1/10。以每小时 100 片晶圆的处理速度计算,所需的 EUV 光源功率仅为 20 瓦。全新设计的投影物镜可实现 0.2 NA(20 毫米领域)和 0.3 NA(10 毫米领域),可组装成类似于 DUV 投影物镜系统的圆柱型装置,具有出色的机械稳定性,且更易于组装/...
而目标值可根据初始结构的 MTF 数值来设置,本例中,内窥镜物镜系统的初始结构1在70周期 /mm 时的 MTF 为0.23,则最开始优化时将目标值设为0.3,优化后评估值达到0.3后,再将目标值提升为0.4……依此对目标值进行修改,以渐进的方式对系统 MTF 进行多次优化,直到各优化操作数的评估值不再满足目标值,则停止对 MTF...
Nikon双目光学显微镜LV100N CFI60无限远光学系统 五孔物镜转盘 南京康维达生物科技有限公司 4年 查看详情 ￥5.10万/台 上海 奥林巴斯olympus仪景通数码相衬高倍成像系统BX53 多人躬览 六孔物镜 孚约生物科技(上海)有限公司 3年 查看详情 ￥8.00/个 广东广州 史赛克Stryker 227-029-030宫腔镜物镜系统破损维修 ...
光源系统、物镜系统、EDA工程、双工件台系统是构成光刻机的四大核心部件。先前我们在双工件台系统、光源系统中已经有所突破,决定逻辑芯片前期技术开发的EDA工程软件系统也被芯和半导体攻破。决定光刻机制程精度,光刻机最核心的物镜系统,近期被长春光机所成功拿下。2021年
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而目标值可根据初始结构的 MTF 数值来设置,本例中,内窥镜物镜系统的初始结构1在70周期 /mm 时的 MTF 为0.23,则最开始优化时将目标值设为0.3,优化后评估值达到0.3后,再将目标值提升为0.4……依此对目标值进行修改,以渐进的方式对系统 MTF 进行多次优化,直到各优化操作数的评估值不再满足目标值,则停止对 MTF...