在离轴照明中,光线不是沿着垂直于被照物体表面的方向传播的,而是以一定的角度照射到物体表面上。这种照明方式可以产生阴影和高光,从而突出物体的轮廓和表面特征,使其在视觉上更加立体和丰富。 相干因子是指在光学中用来描述光的相干性的一个参数。相干性是指光波的波峰和波谷之间的关系,在相干光中,波峰和波谷之间...
照明相干因子 数值孔径与分辨力 光刻工作分辨力是光刻机最主要的性能指标, 它主要由光刻物镜的 性能决定, 根据瑞利(Rayleigh t) 分辨力公式: R = k1λ/NA , 式 中λ为工作波长,NA 为投影物镜的数值孔径, K1 为条件因子。可知 在通常K1 值不变情况下, 提高光刻工作分辨力主要是缩短工作波长, 增大成像物镜...
Matlab光学仿真课程设计-基于Matlab相干与非相干照明成像系统的仿真 热度: 数值孔径与分辨力 光刻工作分辨力是光刻机最主要的性能指标,它主要由光刻物镜的 性能决定,根据瑞利(Rayleight)分辨力公式:R=k1λ/NA,式 中λ为工作波长,NA为投影物镜的数值孔径,K1为条件因子。可知 ...
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1.一种光刻机照明系统相干因子的优化方法,其特征在于,具体步骤为: 步骤101、根据照明系统的特性确定相干因子的初始搜索区间[a1,b1],设定 霍普芬格Hopfinger黄金分割法的初始搜索步长半分因子τ,以及设定精度因子 δ; 步骤102、根据Hopfinger黄金分割法计算搜索分割点相干因子值λk和μk, 令循环次数k=1,λk=ak...