二氧化硅热氧化工艺,是将二氧化硅在高温、高压和氧气的存在下进行反应,将其转化为高纯度硅烷和二氧化硅。该技术的作用主要有以下几点: 1.生产高纯度硅烷:二氧化硅热氧化工艺可以生产高纯度的硅烷,其纯度可达到99.9999%以上。硅烷是一种重要的半导体材料,广泛应用于电子、太阳能电池等领域。 ...
简述什么是硅热氧化以及氧化的工艺目的、氧化方式及其化学反应式。 相关知识点: 试题来源: 解析硅热氧化是氧分子或水分子在高温下与硅发生化学反应,并在硅片表面生长氧化硅的过程。 氧化的工艺目的:在硅片上生长一层二氧化硅层以保护硅片表面、器件隔离、屏蔽掺杂、形成电介质层等。
#回转窑 回转窑是干什么用的.回转窑工作原理是什么.回转窑工艺流程.回转窑有酸化窑.冶金窑.陶粒窑.氧化窑.焙烧窑等回转窑炉.回转窑.冶金设备煅烧窖.出口国外.回转窑是一种常见的工业煅烧设备.回转窑主要用于焙烧煅烧和热处理.回转窑(回旋窖) - 大型破碎机球磨机制沙机回转
参考答案: 硅热氧化是氧分子或水分子在高温下与硅发生化学反应,并在硅片表面生长氧化硅的过程。氧化的工艺目的:在硅片上生长... 点击查看完整答案您可能感兴趣的试卷你可能感兴趣的试题 1.填空题不同()的硅片,它的化学、电学、和机械性质都(),这会影响最终的()。例如(),界面态等。 参考答案:晶向;不同;器件...
不能用热氧化法和高温CVD工艺制备此介质。1)热氧化法必须在硅表面才能形成二氧化硅,多层互联线间很少有这样的硅表面。2)多层互联线所用的金属材料大多不能承受过高的温度。如互联线材料铝,铝的熔点较低大约在400摄氏度,温度较高时就破坏了原有的走线。同时,由于工艺中的诸多现象受高温的影响。反馈...
KM60等离子热喷涂氧化铬涂层工艺是什么 01月26日 KM60等离子热喷涂氧化铬涂层工艺 一、打底粉的喷涂参数 喷涂设备JP-8000型等离子喷枪和GH型喷嘴 因为防腐要求不高,所以打底粉选择镍包铝粉,涂层厚度控制在0.1-0.15mm。 电流:500-550 A 电压:60-65 V 氩气气:280...
百度试题 结果1 题目在化工工艺设计中,RTO代表什么? A. 反应器 B. 回收塔 C. 热氧化器 D. 精馏塔 相关知识点: 试题来源: 解析 C 反馈 收藏
大家知道炒锅材质分铁板锅、铸铁锅,此二类材料经QPQ工艺处理后抗腐蚀能力不尽相同,一般来说铁板锅抗蚀能力要优于铸铁锅。-QPQ技术的氧化工艺对金属零件抗蚀性的影响-成都QPQ处理主要应用领域-1 良好的耐磨性、耐疲劳性能。 目前,QPQ表面改性技术在国内也得到大量推广应用