这类微梁一般采用si材料制造,通常要求有很高的品质因数:即要求较小的热弹性阻尼。热弹性阻尼(thermoelasticdamping,简称ted)是微梁弯曲振动时的一种非常重要的阻尼。这种阻尼是由于机械结构在应力作用下发生压缩、拉伸,使得体积发生变化。体积变化导致热量产生并耗散掉,也即微梁的振动机械能变为热能耗散掉。 对于厚度为h的悬挂微梁,z