各行各业众多电子器件需要在低温条件下制备高质量的无机非金属薄膜,能实现此项要求的技术手段并不多,其中应用面最广的是1965年发明的PECVD(等离子增强化学气相沉积)技术,而另一项在十多年后首次提出的HWCVD(热丝化学气相沉积,也称HFCVD)技术,经过技术不断的进步,也获得了越来越多的应用。 HWCVD的工作原理是利用分子...
热丝催化化学气相沉积存在的技术问题 Hot-wire catalytic chemical vapor deposition (HWCVD) is a promising technique for the synthesis of high-quality thin films. It involves the decomposition of precursor gases on a heated filament, which acts as both a catalyst and asubstrate for film growth. ...
本发明公开了一种以热丝化学气相沉积技术制备α-MoO3纳米带的方法.以硅钼棒发热体为基底和钼源,通过对硅钼棒发热体的碳热还原处理和热丝化学气相沉积制备α-MoO3纳米带.本发明是一种经济高效低成本的制备技术.在硅钼棒为发热体的电炉内进行,以硅钼棒发热体同时作为基底和钼源,先后通过对硅钼棒发热体的碳热...
热丝弧弧光增强等离子体化学气相沉积技术采用热丝弧枪发射弧光等离子体简称热丝弧弧光PECVD 技术。该技术和热丝弧枪离子镀膜技术近似,其区别在于热丝弧枪离子镀获得固态薄膜是利用热丝弧枪发射的弧光电子流将坩埚中的金属加热蒸发出来,而热丝弧弧光 PECVD是通入反应气体,如沉金刚石膜通人的反应气是 CH4和 H2。依靠热丝...
热丝化学气相沉积技术 日 松村英树 日 梅本弘宣 美 卡伦 格利森 荷 吕德·施罗普 9787122456632 化学工业出版社点击进入9.9元专区>> ¥146.50 (7.40折) 降价通知 定价¥198.00 暂无评分 1人评分精彩评分送积分 作者 (日)松村英树 查看作品 出版 化学工业出版社,2024年07月 查看作品 分类 图书>教材>...
热丝化学气相沉积(Hot Filament Chemical Vapor Deposition System namely HFCVD)方法常常应用于工具表面的金刚石涂层、热沉金刚石片及自支撑超纳米晶金刚石薄膜的合成;其应用于机械工具、微机电系统(MEMS),光学窗口等。 我们提供热丝化学气相沉积系统(HFCVD system),适合于: ...
【现货】热丝化学气相沉积技术 化学气相沉积 催化化学气相沉积 热丝化学气相沉积 薄膜制备 CVD;半导体薄膜 薄膜制备研发技术人员参考书 松村英树等 化学工业出版社 9787122456632 可开发票 作者:松村英树等出版社:化学工业出版社 手机专享价 ¥ 当当价 降价通知 ¥179.76 定价 ¥198.00 配送至 天津 至 北...
摘要: 以金属W和Ta为热丝,采用热丝化学气相沉积 ,在250℃玻璃衬底上沉积多晶硅薄膜.研究了热丝温度、沉积气压、热丝与衬底间距等沉积参数对硅薄膜结构和光电特性的影响,在优化条件下获得晶态比Xc>90%,暗电导率σd=10-7-10-6Ω-1cm-1,激活能Ea=0.5eV,光能隙Eopt≤1.3eV的多晶硅薄膜.关键词:...
智友书屋 4.1 商品体验优秀 物流体验一般 服务体验一般 联系客服进入店铺热丝化学气相沉积技术 已售少于100 ￥190.81点击查看更多配送: 上海至 阳泉城区 快递: 10.00现货,付款后48小时内发货 保障:7天无理由退货查看更多 用户评价 参数信息 图文详情 本店推荐 用户评价 图文详情 0...
鹏城半导体技术(深圳)有限公司(简称:鹏城半导体)自主研发的HFCVD热丝化学气相沉积设备可用于微米晶、纳米晶金刚石晶圆片生产,也可制造防腐耐磨硬质涂层、金刚石BDD电极、太阳能薄膜电池等。 自主研发生产的单/双面镀膜热丝CVD金刚石设备(HFCVD)可制备金刚石多晶晶圆片衬底尺寸:2英寸、4英寸、6英寸、8英寸。