ZnO薄膜作为一种重要的半导体材料,在光电子器件、太阳能电池、气体传感器等领域具有广泛的应用前景。溶胶-凝胶法作为一种制备薄膜材料的常用技术,具有工艺简单、成本低廉、易于控制等优点,因此受到广大研究者的关注。 本文将首先介绍溶胶-凝胶法的基本原理和步骤,然后详细阐述制备ZnO薄膜的具体过程,包括前驱体溶液的配制、...
利用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备p型ZnO薄膜,先制备Ga或N共掺杂的ZnO胶体溶液,在预先清洗好的Si片或其他衬底(石英玻璃,蓝宝石等)上滴加胶体溶液,以旋转衬底的方式使胶体溶液均匀涂覆,然后将薄膜在室温～100℃下放置一段时间再经过240-300℃的热处理,尔后在500～900℃,氨气气氛下热处理1～5小时.溶胶-凝胶法制备...
已有研究表明,掺钒ZnO薄膜的压电系数比未掺杂的高一个数量级,可达110pm/V。目前,国际上主要采用磁控溅射法制备掺钒ZnO压电膜,这种方法存在掺杂不充分、不均匀、掺杂浓度难以准确控制等问题。 近期,中国科学院声学研究所超声学实验室研究员李俊红团队采用改良溶...
如果 ZnO 溶胶的浓度过低，或者前驱体溶液中金属盐含量较少，在旋涂后形成的膜层可能非常薄，甚至肉眼难...
溶胶—凝胶法制备ZnO薄膜题目:溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜:工艺、性能与前景 引言:ZnO是一种宽禁带半导体材料,具有优异的物理、化学和光学性能,在光电子、气敏传感、太阳能电池等领域具有广泛的应用前景。溶胶-凝胶法作为一种常见的薄膜制备方法,具有制备过程简单、成本低廉、易于大规模生产等优点,适用于多种无机材料包括...
溶胶-凝胶法制备Li掺杂ZnO纳米薄膜及其表征 非常丰富、价格低廉、无毒、化学稳定性较高、易实现掺杂等优点,因此 在透明电极、平板显示器和太阳能电池领域得到了广泛的应用。目前,许多薄 膜制备技术可以用于ZnO薄膜的生长,包括有磁控溅射(Magnetron Sputtering)、脉冲激光沉积(PulsedLaserDeposition)、化学气相沉积(CVD)、 ...
掺杂,因此溶胶一凝胶法是一种较理想的制备ZnO薄膜的经济途径。 制作SAW元件用的ZnO薄膜,通常要求它满足以下JL个方面的要求:(1) ZnO晶体存在c极轴,高度(002)定向的多晶薄膜才能够具有单晶那样优良 的压电特性(高的机电耦合系数等,并且其低的介电常数有利于实现高频化), 型塑型苎 因此,只有高度(002)定向的ZnO薄膜...
[NH(czHOH)z]为络合剂,通过溶胶一凝胶法在玻璃基片上制备了ZnO多孔薄膜。利用红外光谱,热重一差热分析及扫描电镜等测试方法对 薄膜的结构和特性进行了分析。探讨了样品在溶胶一凝胶及煅烧过程中的物理化学变化。研究了前驱体浓度、PEG2000加人量及不同水浴温 ...
溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜
本文采用溶胶凝胶法制备ZnO薄膜,研究了溶胶中不同浓度、不同热处理条件下对薄膜晶体结构和光学性能的影响。 先将适量的乙醇倒入3角烧瓶中,加入氯化锌(ZnCl2)和尿素(CO(NH2)2),经过搅拌,形成均质溶胶液,分别称出不同浓度的溶胶液,然后将它们滴在玻璃衬片上,并进行热处理。热处理条件包括:沸腾水浴(100℃,30min)...