集成电路制造工艺与工程应用.pdf-温德通-2018年版-机械工业出版社,本书意在向从事半导体行业的朋友介绍半导体工艺技术,为了能给业内人士提供简单易懂并且与实际应用相结合的书。本书以实际应用为出发点,抓住目前半导体工艺的主流工艺技术进行逐一介绍,例如CVD、PVD、CMP
温德通,IC高级设计工程师。毕业于西安电子科技大学微电子学院,曾供职于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,负责工艺制程整合方面的工作;后加入晶门科技(深圳)有限公司工作至今,负责集成电路工艺制程、器件、闩锁效应和ESD电路设计等方面的工作。 目录 专家推荐 ...