清华大学深圳国际研究生院/清华-伯克利深圳学院,副教授,博士生导师 2020年10月-2021年11月,清华大学深圳国际研究生院/清华-伯克利深圳学院,助理教授,博士生导师 2019年04月-2020年09月,清华大学深圳国际研究生院,讲师 2017年10月-2019年03月,清华大学深圳研究生院,讲师 2017年01月-2017年09月,清华大学深圳...
近日,清华大学深圳国际研究生院李星辉团队与国防科技大学团队合作提出了一种基于反射型二维光栅的外差式三自由光栅干涉仪。团队自主设计具有高光敏度、高频差和高信噪比的双频激光系统,基于二维反射型光栅和采用创新的共光路设计,搭建三自由度位移测量系统,设计并优化外差信号相位检测算法,最终实现了亚纳米的测量分辨率和...
李星辉 清华大学 深圳研究生院 / 科研之友号:55379308 科研之友人员唯一编号 1 项目 230 成果 633 阅读 8 下载 776 被引 17 H-指数 主页 成果
清华大学 22-03-24 11:10 来自微博weibo.com 【清华大学深圳国际研究生院李星辉、王晓浩团队在光谱共焦精密测量领域取得新进展】近日,深圳国际研究生院李星辉、王晓浩团队首次提出基于光谱共焦技术的光谱反射率测量系统。综合光学色散现象及共聚焦技术,通过设计并优化色散物镜,限制入射角度并改善光斑质量,采用创新的共...
近日,深圳国际研究生院李星辉、王晓浩团队首次提出基于光谱共焦技术的光谱反射率测量系统。综合光学色散现象及共聚焦技术,通过设计并优化色散物镜,限制入射角度并改善光斑质量,采用创新的共光路自参考策略扫描待测表面,高效提取其反射光谱响应。这项工作为高精度表面光谱分析开辟了一条新的途径。
近日,清华大学深圳国际研究生院李星辉团队提出空间双干涉同步的全息光刻方法,从理论和实验两方面验证了利用正交双轴洛埃镜干涉仪制作高通量、结构一致、特征尺寸可调纳米结构的可行性。该干涉仪单元由两个反射镜和一个光栅基底以正交角锥结构布局组成,能将单光束按波前分割方案分成三个子光束,实现高效稳定的二维交叉干涉...
李星辉，1985年生于河南洛阳，现为清华大学深圳研究生院先进制造学部博士后。教育背景 本科2008年毕业于武汉大学，硕士2011年毕业于西安交通大学，硕士为西安交通大学和东京工业大学联合培养，博士2014年毕业于日本东北大学。工作履历 2014年11月至今，在清华大学深圳研究生院做博士后研究。2008年获得武汉大学优秀毕业生，...