据报道，中国科学院（CAS）的科学家在固态深紫外（DUV）激光器方面取得了重大“突破”。国际光学与光子学学会（SPIE）在一份期刊上发表的一篇论文显示，来自中国的研究人员已经创造了一种用于半导体光刻的相干193nm（纳米）光束。如果扩大规模，这项新技术可以用来制造光刻工具，利用先进的工艺机制制造芯片。目前，许多电...
之后两人密切配合,在国际上首次实现KBBF晶体倍频输出深紫外激光,并最终发展出实用化的深紫外固态激光源(DUV-DPL)。 从此,中国开启了深紫外的时代。 从激光源到8台装备 DUV-DPL的研制成功,不仅使得我国激光科技研究突破了200nm以内的“深紫外壁垒”,实现了实用化、精密化,还极大推进了我国科研人员在激光科技研究领域...
深紫外激光器是一种利用气体、固体或半导体发射出波长较短的紫外光的激光器,波长一般在200nm以下。深紫外激光器的分类主要根据其激光发射材料的不同,可以分为气体激光器、固体激光器和半导体激光器三类。 二、深紫外激光器的应用 1.光刻领域 深紫外激光器在半导体制造领域的光刻...
咱都晓得芯片这玩意儿就是沙子里炼出来的"黄金"，但要在指甲盖大的硅片上刻出几十亿个晶体管，靠的就是光刻机里的激光。传统光刻机用的深紫外激光（DUV）就像个精细的雕刻刀，在硅片上刻出电路图。但问题在于，这"刀"用久了会钝啊！液态深紫外激光器就像个娇气的艺术家，得恒温恒湿伺候着，稍微有个风吹草...
深紫外激光：不止于芯片制造 当然，这项技术的意义远不止于此。除了半导体光刻，深紫外激光器还在高分辨率光谱学、精密材料加工以及量子技术等领域大显身手。比如，在飞机发动机和燃气轮机的制造过程中，深紫外激光可以帮助实现更加精细的切割和焊接；而在低空经济中，这类激光器甚至可能催生全新的应用场景。说到这里，...
在医疗领域,深紫外激光器同样展现出其独特的优势。由于深紫外光具有较强的杀菌作用,因此它被广泛用于医疗器械的消毒过程中。与传统的化学消毒方法相比,深紫外激光消毒具有更高效、更环保的优点。 此外,深紫外激光器还在眼科手术中发挥着重要作用。例如,在角膜手术中,深紫外激光器能够提供高精度的切割和雕琢,从而提高手...
深紫外激光技术 2013年9月9日，中科院官网传来好消息。我国成功研发了全球首个实用的深紫外全固态激光器。这项技术覆盖科研和工业等多个领域。例如，它能进行超精密加工，从而提升电子芯片等产品的生产效率和品质。我国在激光技术领域的这一重大突破，充分展示了我国激光技术已达到世界领先水平。超强超短激光输出 2016年...
通过最小偏向角法精确测定了LiNH4SO4的波长依赖折射率并拟合了其色散方程,结果表明LiNH4SO4具有极低的折射率色散,使得该晶体在倍频光波长177.3 nm处的一阶准相位匹配周期达1.4 μm,表明有望采用现有极化工艺加工其准相位匹配倍频器件来直接...
有关“深紫外激光”的用途 四大权益礼包,开户即送 有关深紫外激光的用途 如下 1.微电子制造:深紫外线全固态激光的高光子能量和短波长使得它能够在微电子制造领域发挥重要作用。例如,它可以用于三维芯片堆叠、晶圆刻蚀和潜入式镀铜等。 2.材料加工:深紫外激光在材料加工领域也有广泛应用。其具有良好的切割和打孔能力...
近日，中国科学院传来喜讯，在激光技术领域实现了重大进展，成功研制出固态深紫外（DUV）激光源。这款激光源能够发射出193nm的相干光，与当前主流的DUV曝光波长相契合，从而将半导体工艺提升至3nm级别。这一突破性成果标志着国产光刻机迈上了新台阶，同时推动了国产芯片制作工艺的进一步提升。ASML、佳能以及尼康所采用的...