本实施例的硅基浅刻蚀波导起偏器包括由下至上依次设置的硅衬底1、二氧化硅掩埋层2、硅芯层3和二氧化硅保护层4,其中硅芯层3上表面浅刻蚀有连续的突起结构31,突起结构31的宽度从突起结构31的两端到突起结构31的中央位置线性增加,突起结构31设置在硅芯层3的中央位置,且突起结构31的两侧与硅芯层3的两侧之间的距离为固...
摘要 本发明涉及集成光子学领域,提出一种硅基浅刻蚀波导起偏器,包括由下至上依次设置的衬底、掩埋层和硅芯层,衬底的材质为硅,掩埋层的材质为二氧化硅;硅芯层上表面浅刻蚀有连续的突起结构,突起结构的宽度从突起结构的两端到突起结构的中央位置线性增加。本发明还提出一种硅基浅刻蚀波导起偏器的制备方法,包括以下步...
为了进一步探索用绝缘体上晶体硅制作的浅刻蚀脊形波导侧向泄漏损耗的规律,提出并研究了一种非矩形截面浅刻蚀绝缘体上晶体硅脊形波导.用光的干涉理论建立该波导的周期性损耗模型并推导出损耗周期公式,然后通过完美匹配层边界条件下的频域有限元法仿真观察该特殊波导类TM0模的侧向泄漏损耗周期的变化与最大损耗点的偏移现...
百度爱采购为您找到0条最新的70nm 浅刻蚀脊波导产品的详细参数、实时报价、行情走势、优质商品批发/供应信息,您还可以免费查询、发布询价信息等。