离子注入时倾斜一定角度主要是为了解决横向效应与沟道效应。 1. 直接垂直注入会产生什么问题? 垂直注入会造成横向效应。离子注入的横向效应是指离子在注入过程中除了在垂直方向上的渗透(纵向扩散)外,还会在水平方向(横向)上发生扩散的现象。这种横向扩散是由于注入的离子在...
五、增加注入剂量的可重复性 倾斜入射角度可以提高注入剂量的可重复性。由于杂质离子的入射路径更加多样化，不同批次的注入过程中，杂质分布的差异会减小，从而提高了工艺的稳定性和可靠性。所以，设定杂质入射角度为偏离晶面法线 7 度到 10 度之间，是为了在离子注入工艺中达到最佳的杂质掺杂效果，同时减少晶格损伤和提...
离子注入角度测量技术在半导体器件制造、薄膜涂层和材料表面改性等领域有着广泛的应用。在半导体器件制造中,控制离子注入角度分布可以改善器件的电学性能;在薄膜涂层中,离子注入角度分布的控制可以改变薄膜的层间结构和化学组成,从而实现所需的光学、电学、磁学性能等;在材料表面改性中,离子注入角度测量技术可以帮助实现对材...
离子注入角度测量 离子注入角度测量可以通过以下步骤实现: 1.准备待测样品。需要将待测样品制备成平整的表面,并清洗干净。 2.选择合适的离子束。离子束需要具有足够的能量和适当的角度范围,以便注入样品表面。通常使用的离子束包括氢离子束、氦离子束和氮离子束等。 3.调整离子束角度。需要将离子束调整到预定的角度...
在iOS委派中注入角度服务是指在Nativescript应用程序中,通过委派(Delegate)模式将Angular服务注入到iOS平台的原生代码中。这样做的好处是可以在原生代码中使用Angular服务的功能,从而实现更高级的功能或与原生功能进行交互。 Nativescript的优势包括: 跨平台开发:使用Nativescript可以同时开发iOS和Android应用,减少开发工作量和维...
通过角度依赖注入机制,我们可以将依赖关系从组件中解耦出来,使得组件更加可复用、可测试和可维护。 在角度依赖注入中,我们首先需要定义一个提供者(Provider),它负责创建和提供依赖项。提供者可以是一个类、一个工厂函数或一个值。然后,我们需要在组件的构造函数中声明依赖项,并使用装饰器(@Injectable)将其标记为可...
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,上海 201203)摘要:研究主要聚焦在批处理离子注入机台的沟道效应和锥角效应,以及阐述由于这些效应导致的 晶圆片上的均匀性问题和产品上的良率损失。对于高能量离子注入,如果离子注入角度设定为0°会导 致严重的沟道效应,但是大角度设定又会导致光刻胶的阴影效应,所以对于注入角度的...
金融界 2025 年 1 月 8 日消息，国家知识产权局信息显示，上海凯世通半导体股份有限公司取得一项名为“离子注入角度的修正方法”的专利，授权公告号 CN 118866780 B，申请日期为 2024 年 9 月 。天眼查资料显示，上海凯世通半导体股份有限公司，成立于2009年，位于上海市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企...
1.3 按亮实验箱单步工艺选择区的“Implant(离子注入)”按钮,Processlab 软件界面会显示单步工艺离子注入的启动界面如图 3 所示。图 3 单步工艺离子注入的启动界面 2. 离子注入角度的影响实验 2.1 在工艺教学套件的实验箱液晶屏上选择“离子注入”,再选择离子注入设备,再设置注入杂质类型为硼,设置剂量为 1e15/cm2...
我们将对高频注入提取角度方法的应用前景进行展望,总结本文的主要观点和结论。【字数:260】 1.2 研究意义 高频注入提取角度的方法是一种新的研究方向,具有重要的研究意义。高频注入提取角度的方法可以用于改善图像或视频的质量,提高图像的细节和清晰度,从而帮助用户更好地了解和分析图像中的信息。高频注入提取角度的方法...