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我们的全系列离子注入机依托新一代 Purion 平台,以最低的拥有成本实现高精度、高纯度和高产能。 专业化解决方案 满足多种应用需求 我们结合深厚的技术专长与前沿离子注入技术, 提供切实可行的解决方案,精准应对您晶圆厂面临的挑战。 成熟工艺技术 先进逻辑电路 ...
离子注入机的原理是什么?上图是离子注入机的简易原理图,各部件作用依次为:Ion Source(离子源):通过将气体电离,产生所需的离子类型。Extraction Voltage(抽取电压):将产生的离子从源中抽取出来。Ion Electrode(离子电极):形成和控制离子束。Analyzing Magnet(分析磁铁):用于分离出不同...
产品 离子注入机零件 用于离子注入的部件和备件 离子注入是半导体生产中的重要工艺。注入机系统在晶圆中引入外来原子以改变材料特性,例如电导率或晶体结构。离子束路径是注入机系统的中心。离子在此处产生、聚集,并经加速后以极高速度射向晶圆。 我们的部件和备件由难熔金属制成,有助于确保此过程尽可能高效、精密且不...
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离子注入机：半导体晶圆制造等领域的关键设备之一在半导体晶圆制造中，由于纯净硅的导电性能很差，需要加入少量杂质使其结构和电导率发生改变，从而变成一种有用的半导体，这个过程称为掺杂。目前掺杂主要有高温热扩散法和离子注入法两种，离子注入占据着主流地位： 高温热扩散法：将掺杂气体导入放有硅片的高温炉中，将...
工信部重大装备推广应用之一-光刻机网页链接:张江高科、龙图光罩、华懋科技(股市有风险投资需谨慎。) 在光刻机之后,离子注入机的研发难度和单价排行第二,与光刻机、刻蚀机和镀膜机并称为制造芯片的四大核心装备,由此可见,离子注入机$万业企业(SH600641)$的重要性堪比光刻机。
离子注入机的工作原理是通过电磁场控制高速运动的离子，按照工艺要求以精准方式完成注入。概念虽仅有短短一句话，但其难度不亚于以飞机的速度一次成功地完成侧方位停车，因此，对离子注入机的综合性能要求极为严格。“设备研制毫无经验可循，攻关过程是一场孤军奋战的战役，纵是如此，我们也要一往无前。”离子注入机...