本研究では、エピタキシャルPZT/SrRuO_3/Pt/γ-Al_20_3/Si構造を用いた8×8chの2D pMUTsアレイを作製し、超音波の受信実験および送信実験を行った。受信信号のばらつきの平均化と送信音圧の向上のため1chは42 個の振動子とし、医療診断装置で一般的に用いられるMHz帯を念頭に1素子の