微机电系统法布里-珀罗腔可调谐滤波器红外optical devicesmicro electro mechanical systemFabry-Perot cavitytunable filterinfrared红外光谱检测是一种可靠稳定的分析方法,微机电系统(MEMS)法布里-珀罗(F-P)可调谐滤波器是红外光谱仪,手机摄像头,便携式高光谱成像仪和遥感仪等仪器的核心器件.传统红外分析系统和光谱仪的...
本发明提供一种长腔长微机电可调谐法布里-珀罗滤波器,滤波器的上基板由双面腐蚀后截面呈“W”形的体硅及其下表面的浓硼掺杂层构成,“W”形体硅上表面以透明薄膜作为支撑膜,其上的反射膜作为法布里-珀罗滤波器的前腔镜,“W”形体硅下表面不同区域的浓硼掺杂层可分别作为悬臂梁和上电极。滤波器的下基板由石英玻璃...
本发明公开了一种MEMS法布里-珀罗腔可调谐滤波器,其特征是结构包括:保温外盒(1);密封内盒(2);填充于保温外盒(1)与密封内盒(2)之间的保温材料(3);环绕于密封内盒(2)周围的减振材料(4);固定于密封内盒(2)底面的金属固定底座(5);固定于金属固定底座(5)上的入射端双光纤插针(6),入射端准直透镜(7),...
本实用新型公开了一种MEMS法布里-珀罗腔可调谐滤波器,其特征是结构包括:保温外盒(1);密封内盒(2);填充于保温外盒(1)与密封内盒(2)之间的保温材料(3);环绕于密封内盒(2)周围的减振材料(4);固定于密封内盒(2)底面的金属固定底座(5);固定于金属固定底座(5)上的入射端双光纤插针(6),入射端准直透镜(7...
一种可调谐法布里-珀罗腔滤波器,包括输入光纤,输出光纤,压电陶瓷管和套在压电陶瓷管外的圆筒形外壳,圆筒形外壳上,下端分别有上盖和下盖;压电陶瓷管一端与下盖相连;另一端和上盖内壁分别粘贴一片相互平行的镀膜镜片;上,下盖上分别有出光孔和进光孔,在上盖和下盖外壁上分别装有准直透镜,准直透镜位于出光孔...
本发明是平行度可调的微机电系统法布里珀罗腔波长可调谐滤波器,微桥部的桥面作为法布里珀罗腔的上电极;光栅位于微桥部的桥面的中央处;基底为最下层;多个下电极,平行对称的分布在微桥部的下面,分别固定在两个绝缘层上面;两个绝缘层覆盖在基底上,将多个下电极与上电极之间的电绝缘;两个矩形孔位于微桥部的两边;前...
本发明公开了一种MEMS法布里-珀罗腔可调谐滤波器,其特征是结构包括:保温外盒(1);密封内盒(2);填充于保温外盒(1)与密封内盒(2)之间的保温材料(3);环绕于密封内盒(2)周围的减振材料(4);固定于密封内盒(2)底面的金属固定底座(5);固定于金属固定底座(5)上的入射端双光纤插针(6),入射端准直透镜(7),...
本发明公开了一种MEMS法布里-珀罗腔可调谐滤波器,其特征是结构包括:保温外盒(1);密封内盒(2);填充于保温外盒(1)与密封内盒(2)之间的保温材料(3);环绕于密封内盒(2)周围的减振材料(4);固定于密封内盒(2)底面的金属固定底座(5);固定于金属固定底座(5)上的入射端双光纤插针(6),入射端准直透镜(7),...
设计了一种基于LiNbO3衬底的法布里-珀罗腔游标式级联电光可调谐滤波器,利用多光束干涉原理对单个滤波器的电压频率响应特性进行了分析模拟,对由两个滤波器级联实现的多个波长的动态滤波进行了分析,结果的性能满足波分复用信号的滤波要求.doi:10.3969/j.issn.0253-2743.2003.05.007符运良海南师范大学物理与电子工程学院...
本发明提供一种长腔长微机电可调谐法布里-珀罗滤波器,滤波器的上基板由双面腐蚀后截面呈"W"形的体硅及其下表面的浓硼掺杂层构成,"W"形体硅上表面以透明薄膜作为支撑膜,其上的反射膜作为法布里-珀罗滤波器的前腔镜,"W"形体硅下表面不同区域的浓硼掺杂层可分别作为悬臂梁和上电极.滤波器的下基板由石英玻璃构成...