沈阳芯源微电子设备股份有限公司成立于2002年,是由中科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业,专业从事半导体生产设备的研发、生产、销售与服务,致力于为客户提供半导体装备与工艺整体解决方案。 芯源公司总部位于沈阳市浑南区,并在上海临港设有全资子公司。公司总部占地4万平米,拥有专业的集成电路工艺开发和检测实验...
芯源微:研产深化协同,助力小巨人产业创新 客户概述 沈阳芯源微电子设备股份有限公司成立于2002年,是由中科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业,专业从事半导体生产设备的研发、生产、销售与服务,致力于为客户提供半导体装备与工艺整体解决方案。是半导体光刻设备第一股,连续承担国家级02重大专项“十一五”、“十...