01_3mm。热解氮化硼保护层的厚度越薄,成本就越低。厚度达到0.01mm即可有效阻止坩埚本体中的物质挥发。热解氮化硼保护层通过化学气相沉积法覆于坩埚本体的表面。坩埚本体为石墨或陶瓷制成。由于石墨和陶瓷的性质比较稳定,耐高温,所以在一定程度上也限制了坩埚本体中物质的挥发。化学气相沉积(Chemical vapor deposition,...
且一一对应,氮化硼坩埚置于其对应的坩埚支撑座上;相邻两个氮化硼坩埚中,前一个氮化硼坩埚的小端与后一个氮化硼坩埚盖体上的连接管对接连通;第一个氮化硼坩埚盖体上的连接管与氧气进管的出气端对接连通,最后一个氮化硼坩埚的小端与氧气出管的进气端对接连通。
1. 确定适当的烧结温度,以保证坩埚的致密度和力学强度。 2. 控制烧结时间和温度梯度,以防止坩埚出现裂纹和其他缺陷。 3. 采用合适的热处理工艺,以提高坩埚的导电性能和耐腐蚀性能。 4. 对于较大尺寸的坩埚,需要考虑采用分段烧结的方法,以缩减热应力和温度梯度。 四、 加工细节 制作好的导电氮化硼坩埚还...
1.一种氮化硼坩埚的化学清洗方法,采用化学和超声处理方法对氮化硼坩埚进行彻底清洗,其特征是采用如下步骤a.根据氮化硼坩埚残留的原有熔融材料选择相应的化学试剂对氮化硼坩埚进行初步清洗;b.使用体积比为1∶1∶1的浓硫酸、浓硝酸、氢氟酸配置的混合酸液浸蚀处理15分钟以上,用去离子水冲洗;c.用60%NaOH溶液煮30分钟...