氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作探索气体制成的气密性检测仪器.其质谱原理如图所示。 氦质谱检漏仪的质谱学原理 灯丝发射出来的电子在电离室内来回的振荡,与电离室内气体和经被检件漏孔进入电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子,这些离子在加速电场作用下进入磁场,由于洛伦兹力作用产生偏转,形成圆弧形轨道,轨...
氦质谱检漏检测仪一般有两种检漏检测方法,一种是常规检漏检测,另一种是逆扩散检漏检测。逆扩散原理如图所示。逆扩散检漏检测是将被检测部件连接到分子泵排气口的一端,检漏的氦通过分子泵排气口逆泵排气方向进入安装在泵进气口端质谱管。 该检漏测量方法是基于分子泵对不同质量气体的不同压缩比(分子泵排气口气体压力与...