作者简介:彭英才(1948-),男,河北省人,教授,博士生导师。目前主要从事纳米半导体薄膜材料的制备与光电特性研究(E -m a i:l ycpeng2002@163.co m ).气-液-固法在半导体纳米线生长中的应用 彭英才1,2,赵新为3,4 (1.河北大学电子信息工程学院,保定071002;2.中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室,...
摘要: 气-液-固法(VLS)是目前生长各种准一维纳米结构的主要工艺技术.本文首先介绍了VLS的生长原理,然后以生长机制为主线,着重评论了近3-5年内它在ZnO,GaN,Si以及SiC等纳米线及其阵列合成中应用的某些新进展.最后提出了改进VLS方法的几项措施,并展望了它的今后发展趋势.关键词:...