LF系列气体质量流量计出厂通常用标准状况：温度--273.15K(0℃)以及压力为：--101325Pa（760mmHg）的氮气（N2）标定。出厂用氮气(N2)作为一般介质对其他气体标定。流量的标定和不同气体的换算方法为，用户在保证安全的前提下使用其它未经标定过的气体时，可以通过气体质量流量转换系数进行换算。LF系列气体质量流量计...
气体质量流量转换系数表 气 体空气Air氩气Ar砷烷AsH3三溴化硼 BBr3三氯化硼 BCl3三氟化硼 BF3硼 烷 B2H6四氯化碳 CCl4四氟化碳 CF4甲烷 CH4乙炔 C2H2乙烯 C2H4乙烷 C2H6丙炔 C3H4丙烯 C3H6丙烷 C3H8丁炔 C4H6丁烯 C4H8丁烷 ...
如果一台气体质量流量控制器及质量流量计在出厂时已经标好了一种气体,但是客户想改用成另外一种气体; 例如:出厂是一台标定为20SLPM的乙炔气体,实际想使用丙烷气体,那么换算的方式是:20÷0.581(乙炔的气体转换系数) x 0.348(丙烷的气体转换系数)≈12升/分钟等丙烷的相应流量。需要注意的是:不同气体在转换时还需要...
气体质量流量转换系数表.xls,Sheet3 Sheet2 Sheet1 气体 比热(卡/克℃) 密度(克/升0℃) 转换系数 锗烷 GeH4 碘化氢 HI 硫化氢 H2S 硅烷 SiH4 二氯氢硅 SiH2Cl2 六氟化硫 SF6 二氧化硫 SO2 四氯化钛 TiCl4 六氟化钨 WF6 三溴化硼 BBr3 三氯化硼 BCl3 三氟化硼 BF3 硼烷 B2H
硅 SiF4 0.1692 4.643 0.348硅烷 SiH4 0.3189 1.433 0.599二氯氢硅 SiH2Cl2 0.1472 4.506 0.412三氯氢硅 SiHCl3 0.1332 6.043 0.34六氟化硫 SF6 0.1588 6.516 0.264二氧化硫 SO2 0.1489 2.858 0.687四氯化钛 TiCl4 0.1572 8.465 0.206六氟化钨 WF6 0.0956 13.29 0.215氙气 Xe 0.0379 5.858 1.415气体质量流量转换系数...
气体质量流量转换系数简表 设定流量=实际流量/(转换系数*2）设定流量量程为200sccm假设H2实际流量为20sccm，其转换系数为1.01，则其设定流量为20/(1.01*2)=9.9sccm 气体质量流量转换系数表 气 体空气Air氩气Ar砷烷AsH3三溴化硼 BBr3三氯化硼 BCl3三氟化硼 BF3硼 烷 B2H6四氯化碳 ...
气体质量流量转换系数表气体比热(卡/克)密度(克/升0)转换系数空气 Air0.241.2931.001氩气 Ar0.1251.78371.407砷烷 AsH30.11683.4780.673三溴化硼 BBr30.064711.180.378三氯化硼BCl30.12175.2270.43三氟化硼BF30.17793.0250.508硼烷B2H60.5021.2350.441四氯化碳CCl40.12976.860.307四氟化碳CF40.16593.96360.428甲烷CH40.53180.7150.719...
热式气体质量流量控制器一般用氮气标定,本质量流量控制器/流量计出厂通常用氮气(N2)标定。如果要求用使用气体标定,需要在订货时与销售人员特别申明。用氮气标定的流量控制器用户使用其它气体时,可以通过本公司说明书的附录表转换系数进行换算。 质量流量控制器/流量计由流量传感器、分流器通道、流量放大电路、调节阀、PID...
七星质量流量计显示的是体积流量,但大多数情况下,气体的流量衡量更多的是气体的质量流量。因此,需要将七星质量流量计的体积流量转换为气体的质量流量,这个转换所使用的系数就被称为气体转换系数。 气体转换系数的计算方法一般为: K = 0.082 * (P*T/Z)*sqrt(M) 其中,K表示气体转换...
气体质量流量转换系数表 气 体转换系数 0.241.2931.001 0.1251.78371.407 0.11683.4780.673 0.064711.180.378 0.12175.2270.43 0.17793.0250.508 0.5021.2350.441 0.12976.860.307 0.16593.96360.428 0.53180.7150.719 0.40491.1620.581 0.36581.2510.597 0.42411.3420.48 0.36331.7870.421 0.36591.8770.398 0.3991.9670.348 0.35152.4130....