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一、定义与概述 气体质量流量控制器是一种能够精确控制并测量气体质量流量的仪表设备。与传统的体积流量控制器不同，MFC直接以气体的质量（而非体积）为控制对象，这在温度变化大或气体种类多样的环境中尤为重要，因为气体的体积随温度和压力的变化而变化，而质量则保持不变。因此，MFC能够提供更稳定、更准确的流量...
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