段辉高 教授 段辉高,博士,湖南大学机械与运载工程学院教授,湖南大学粤港澳大湾区创新研究院兼深圳研究院院长,国家高效磨削工程技术研究中心副主任,全国百篇优秀博士学位论文、国家优秀青年科学基金获得者。2004年及2010年获兰州大学物理学学士和博...
这些问题限制了湿法剥离工艺在泛半导体行业作为标准工艺的潜力,也制约了光刻技术的应用场景扩展。 为应对上述挑战,湖南大学段辉高教授课题组提出了一种符合环保与可持续发展要求的力学光刻范式。其核心是开发了一类超低界面粘附的光刻胶材料,可通过商用胶带干法剥离。该范式以力学剥离手段替代传统的化学剥离手段,具备多场景...
近日,湖南大学段辉高教授团队针对光刻工艺中湿法溶剂去胶带来的环境和可持续发展问题,开发出一种全新的干式剥离光刻范式。 图| 段辉高(来源:段辉高) 其通过力学剥离替代传统的湿法溶剂剥离工艺,实现了无需化学溶剂的图形转移,仅利用普通日用品“胶带”即可完成去胶过程。 该方法从源头上消除了去胶过程中有害化学品的使...
段辉高教授,现任湖南大学机械与运载工程学院教授,湖南大学粤港澳大湾区创新研究院院长,国家高效磨削工程技术研究中心副主任,长期从事微纳制造及微纳光学相关研究。先后在Nature Nanotechnology、Nature Energy、Nature Electronics、National Science Review、Light: Science & Applications、Engineering、《极端制造》等期刊发表论文...
“有趣与有用,极限与极致”:专访微纳制造专家段辉高教授 他是微纳制造领域的探索者,是跨领域、跨专业学习的求知者,也是情感丰富的育人者;是一位永远好奇的阅读者,一位热爱体育的运动者,还是一位忠实的咖啡爱好者。本期 Light 人物访谈,我们有幸邀请到湖南大学段辉高教授,他与我们分享了关于微纳制造、平面光学、...
一、段辉高教授团队简介 团队目前拥有老师8人,其中国家级青年人才2名,省部级人才6名。团队围绕微纳制造装备与工艺、微纳光学设计与制造、MEMS传感器及应用等方向,正在承担国家重点研发计划、国家自然基金、成果转化及产学研合作等各类项目20余项,科研经费充足。
近日,湖南大学段辉高教授团队开发出一种基于“光刻胶全干法转印”技术的新型光刻工艺,可用于柔性及不规则(曲面、悬空等)衬底上柔性电子器件的高保形制造。该工艺的关键在于开发了一种环保型(水基)可转印的光刻胶材料,该光刻胶具有对紫外光...
【Engineering | 湖南大学段辉高教授研究团队将声表面波器件工作频率推至44 GHz】目前由于换能器叉指尺寸较大以及压电衬底材料声速偏低等原因,SAW器件的工作频率一般在3 GHz以下,难以满足超高频SAW传感需求。针对上述挑战,湖南大学段辉高教授团队联合天津理工大学、国家纳米科学中心、英国诺桑比亚大学等机构的研发人员,通过...
段辉高教授,现任湖南大学机械与运载工程学院教授,湖南大学粤港澳大湾区创新研究院院长,国家高效磨削工程技术研究中心副主任,长期从事微纳制造及微纳光学相关研究。先后在nature nanotechnology、nature energy、natureelectronics、national science review、light: science & applications、engineering、《极端制造》等期刊发表论文...
段辉高教授为湖南大学机械与运载工程学院微纳制造方向学术带头人，全国百篇优秀博士学位论文及国家优秀青年科学基金获得者，入选2016年度中国十大新锐科技人物。曾在美国MIT、新加坡科技研究局、德国马普所等顶级研究机构学习和科研。近年来，团队围绕极端微纳制造工艺及相关应用做了系列创新性工作。根据科研需要，现拟招聘...