通过测量样品反射和透射光的偏振椭圆参数,可以计算出薄膜厚度和折射率等光学参数。 2. 实验步骤 (1) 样品制备 准备一片光学平整的样品,涂上一层薄膜。需要保证样品表面光洁度良好,无明显缺陷和表面过度粗糙。 (2) 调整椭圆偏振仪 首先需要进行仪器校准,保证椭圆偏振仪能够正常工作。然后,将样品放置在椭圆偏振仪的...
椭圆偏振光法就是一个非常重要的方法。将一束单色椭圆偏振光投射到薄膜表面,根据电动力学原理,反射光的椭偏状态与薄膜厚度和折射率有关,通过测出椭偏状态的变化,就可以推算出薄膜的厚度和折射率。椭圆偏振光法是目前测量透明薄膜厚度和折射率时的常用方法,其测量精度高,特别是在测量超薄薄膜的厚度时其灵敏度很高,因此...
椭圆偏振法是一种先进的测量薄膜纳米级厚度的方法，这种方法测量灵敏度高(可探测小于0.1nm的厚度变化)、精度较好(比干涉法高一到两个数量级)、对待测样品无损伤并且能同时测量薄膜的厚度和折射率。因而，目前椭圆偏振法已经在光学、半导体、生物、医学等诸方面得到较为广泛的应用。实验目的：1.了解椭圆偏振测量的...
根据椭圆偏振光的特性,可以通过测量椭圆偏振光的特性参数(主轴角度、椭圆离心率等)来确定薄膜的厚度和折射率。 实验装置:椭圆偏振仪、光源、待测试薄膜样品。 实验步骤: 1.启动椭圆偏振仪,调整光源使其达到合适的亮度和稳定性。 2.将待测薄膜样品放置在椭圆偏振仪的样品台上,并通过对焦镜调整样品的焦距。 3.调整...
椭圆偏振法测量薄膜厚度和折射率.doc,椭圆偏振法测量薄膜厚度及折射率 实验目的: 1、利用椭偏仪测量硅衬底薄膜的折射率和厚度;提高物理推理与判别处理能力。 2、用自动椭偏仪再测量进行对比;分析不同实验仪器两种方式的测量。提高误差分析与分配能力。 教学安排 手动测量
椭圆偏振法是一种先进的测量薄膜纳米级厚度的方法,这种方法测量灵敏度高(可探测小于0.1nm的厚度变化)、精度较好(比干涉法高一到两个数量级)、对待测样品无损伤并且能同时测量薄膜的厚度和折射率。因而,目前椭圆偏振法已经在光学、半导体、生物、医学等诸方面得到较为广泛的应用。实验目的:1.了解椭圆偏振测量的基本...
椭圆偏振法广泛地应用于固体基片上介质薄膜的测量。在己有测定薄膜厚度的方法中,它是能测量到最薄和精度最高的一类。测量范围从0.1nm到几个μm,比干涉法测量精度高一个数量级以上。它能同时测量薄膜厚度和折射率。 椭圆偏振法应用范围广泛,它是表面科学研究的一个重要工具。本实验通过测量若干介质薄膜的厚度和折射...
实验名称:椭圆偏振法测量薄膜厚度和折射率(一) 引言: 椭圆偏振法广泛地应用于固体基片上介质薄膜的测量。在己有测定薄膜厚度的方法中,它是能测量到最薄和精度最高的一类。测量范围从0. 1 nm到几个μm,比干涉法测量精度高一个数量级以上。它能同时测量薄膜厚度和折射率。
1、椭偏光法测量薄膜的厚度和折射率引言: 椭圆偏振测量(椭偏术)是研究两媒质界面或薄膜中发生的现象及其特性的一种光学方法,其原理是利用偏振光束在界面或薄膜上的反射或透射时出现的偏振变换。 椭圆偏振测量的应用范围很广,如半导体、光学掩膜、圆晶、金属、介电薄膜、玻璃(或镀膜)、激光反射镜、大面积光学膜、有...
实验名称:椭圆偏振法测量薄膜厚度和折射率(一引言:椭圆偏振法广泛地应用于固体基片上介质薄膜的测量。在己有测定薄膜厚度的方法中,它是能测量到最薄和精度最高的一类。测量范围从0.1nm到几个μm,比干涉法测量精度高一个数量级以上。它能同时测量薄膜厚度和折射率。椭圆偏振法应用范围广泛,它是表面科学研究的一个...