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摘要 本发明公开了一种包含新型梳齿电极板的微加速度计。本发明中的微加速度计由下列部分组成硅层的锚点、质量块,U型梁、栅形电极、驱动器锚点,驱动器U型梁,驱动器块、改进梳齿极板,防吸合固定质量块;衬底层;铝电极层。可动的栅形电极和固定极板的梳齿电极形成了电容对,在梳齿结构电极板上刻蚀凹槽可以有效减小...