10、本发明提供的样品靶面激光烧蚀过程离焦量校正与调控装置及方法,通过设置激光位移传感器,在样品靶靶面沿预设运动方向每位移一个步长时,测量得到一次第一距离;计算机根据多次测量的第一距离确定样品靶靶面与预设运动方向间第一夹角的角度和方向,并对应生成第一控制指令下发至控制器;通过控制器对样品架的角度进行调整,...