柱面镜是一种特殊的光学元件,其形状为圆柱形,具有一个平面和一个曲面。当激光束通过柱面镜时,它会在曲面上发生反射,并在平面上形成一个线状的光斑。这个线状光斑可以沿着柱面镜的轴线方向进行扫描,从而实现对目标区域的均匀照射。 二、柱面镜匀光的优点 通过柱面镜匀光...
微柱面镜阵列匀光的原理与微透镜阵列匀光的原理基本相同,如图2所示分别为 犡 方向和犢 方向匀光原理。入射光束分别被 犡 方向和犢 方向的微柱面镜阵列分割后,再由聚光镜叠加到其像方焦面上。但是,微柱面镜阵列匀光在 犡 和犢 方向的焦点位置不一样,所以聚光镜的前焦面和微柱面镜的后焦面无法严格重合,会对...
封面展示了一种由单排平凸微柱面镜阵列(PCMCLA)、三片式聚光镜组和矩形积分棒组成的光刻机照明系统匀光单元。入射的环形照明光束经PCMCLA和聚光镜组分割扩束后,在积分棒入射端处叠加形成一个水平方向强度均匀分布的条状光斑;再经积分棒匀化,最终在积分棒出射端形成一个矩形均匀光场。匀光单元后方的中继镜组将该...
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光斑模式:一字线状(玻璃柱面镜) 线宽: 可根据客户要求定做工作寿命: 精工级8000小时以上结构特点:高品质激光二极管+金属外壳+优质透镜+恒定功率电路板+导线 工厂/公司批量购买激光镭射产品,首选富喆FU品牌.交期快,质量优,价格低,售后佳,是您批量采购的最佳选择! 富喆激光! 用心服务!
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一、柱面镜的形状和工作原理 柱面镜是一种特殊的光学元件,其形状为圆柱形,具有一个平面和一个曲面。当激光束通过柱面镜时,它会在曲面上发生反射,并在平面上形成一个线状的光斑。这个线状光斑可以沿着柱面镜的轴线方向进行扫描,从而实现对目标区域的均匀照射。 二、柱面镜匀光的优点 通过柱面镜匀光的设计,激光雷...
基于微透镜阵列匀光原理的优越性以及现有的微透镜阵列加工工艺,选择微柱面镜阵列作为匀光器件,可以在形成矩形照明光斑的同时获得极高的远场分布均匀性;而且采用二维方向分开的微柱面镜阵列能分别独立地实现 犡 方向和犢 方向的光束均匀化功能。通过对微柱面镜阵列接缝的模拟仿真,设计出了平滑过渡的凹形接缝,它能够消除...
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封面展示了一种由单排平凸微柱面镜阵列(PCMCLA)、三片式聚光镜组和矩形积分棒组成的光刻机照明系统匀光单元。入射的环形照明光束经PCMCLA和聚光镜组分割扩束后,在积分棒入射端处叠加形成一个水平方向强度均匀分布的条状光斑;再经积分棒匀化,最终在积分棒出射端形成一个矩形均匀光场。匀光单元后方的中继镜组将该...