西安电子科技大学微电子学院 西安 710071; 西安电子科技大学微电子学院 西安 710071; 原文格式 PDF 正文语种 chi 中图分类 关键词 三维集成微系统; 对偶单元法; 电热耦合; 有限元法; 入库时间 2024-04-22 23:12:47 相似文献 中文文献 外文文献 专利 1. 基于硅基MEMS工艺的X频段三维集成射频微系统 ...
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