杂质在硅中的分凝系数表 B0.9Au3×10-5 Al≥0.004Sn0.02 Ga0.01Ta1×10-7 In5×10-4Fe5×10-4 P0.35S 1×10-5 As0.3Co1×10-4 Sb0.04Pt1×10-8 Bi8×10-4Cd1×10-8 Cu4×10-4Pd1×10-8 Ag1×10-8Mn1×10-5 Li1×10-2Zn1×10-5 O 1.25C0.07 ...
内容提示: BAlGaInPAsSbBiCuAgLiO0.9AuSnTaFeS CoPtCdPdMnZnC3×10-50.021×10-75×10-41×10-51×10-41×10-81×10-81×10-81×10-51×10-50.07≥0.0040.015×10-40.350.30.048×10-44×10-41×10-81×10-21.25杂质在硅中的分凝系数表杂质在硅中的分凝系数表 文档格式:PDF | 页数:1 | 浏览...
锗、硅中杂质的分凝系数K0杂质元素BAlGaInTlPAsSbBiSnLiZnCuAgAuNiCoTaFeOMnC锗～200.0730.0870.0011.0E-090.080.020.0034.0E-070.02>0.0024.0E-045E-104.0E-070.00133.0E-061.0E-095.0E-053.0E-09～0.000001～0.000000001硅0.8-0.90.0020.0084.0E-040.360.30.0237.0E-040.0160.011...
Fe 5×10-4 P 0.35 S 1×10-5 As 0.3 Co 1×10-4 Sb 0.04 Pt 1×10-8 Bi 8×10-4 Cd 1×10-8 Cu 4×10-4 Pd 1×10-8 Ag 1×10-8 Mn 1×10-5 Li 1×10-2 Zn 1×10-5 O 1.25 C 0.07 杂质在硅中的分凝系数表
杂质在硅中的分凝系数表 B0.9Au3×10-5 Al≥0.004Sn0.02 Ga0.01Ta1×10-7 In5×10-4Fe5×10-4 P0.35S 1×10-5 As0.3Co1×10-4 Sb0.04Pt1×10-8 Bi8×10-4Cd1×10-8 Cu4×10-4Pd1×10-8 Ag1×10-8Mn1×10-5 Li1×10-2Zn1×10-5 O 1.25C0.07 ...