2、传送系统是晶圆自动搬运系统的核心部分,用于将晶圆从一个工序转移到另一个工序。传送系统通常包括输送带、机械臂、机器人等设备,可以根据需要进行灵活的操作和控制。 3、控制系统是晶圆自动搬运系统的大脑,用于监控和控制整个系统的运行。控制系统通常由计算机和相应的软件组成,可以实现晶圆的自动化搬运、路径规划、任...