晶振片测量膜厚的原理 晶振片是一种利用固体晶体振荡原理制成的电子元件,其产生的振荡频率与其本身的厚度密切相关。因此,通过测量晶振片的振荡频率可以推算出晶片的厚度。 具体来说,晶振片通常由二氧化硅(SiO2)等介质材料制成,其晶格结构相当均匀。当一个电场施加到晶体表面时,晶体表面的电荷被激发,导致表面形成一个...
晶振片膜厚检测仪原理 1、膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理，利用频率测量技术加上先进的数学算法，进行膜厚的在线镀膜速率和实时厚度计算。主要应用于MBE、OLED或金属热蒸发、磁控溅射设备的薄膜制备过程中，对膜层厚度及镀膜速率进行实时监测。2、晶控探头安装在靠近待镀膜基片的位置，因此当进行薄膜沉积时，晶振片...
1. 将晶振片放在膜层上; 2. 测量晶振片共振频率的变化; 3. 通过计算晶振片共振频率的变化量,可以求出膜厚的数值。 四、相关仪器设备 为了方便测量膜厚,通常使用一些专门设计的膜厚仪器。这些仪器可以依靠晶振片实现膜层厚度测量,并能够给出准确的结果。 此外,还有一些其他的膜厚测量仪器,比如X射线衍射...
X射线荧光光谱分析仪的原理是利用X射线使样品中的原子发射出特定能量的荧光辐射,进而分析样品的元素组成及其含量。XRF分析仪可同时测量各元素的含量,并快速输出分析结果。 三、XRF测量镀金晶振片膜厚原理 针对晶振片表面的金属膜,可以使用XRF分析仪对膜厚进行无损测量。X射线的能量越高,穿透深度越大,...