会员中心 VIP福利社 VIP免费专区 VIP专属特权 客户端 登录 百度文库 期刊文献 会议晶圆notch口尺寸晶圆notch口尺寸 晶圆notch口尺寸是指晶圆边缘处的V形凹槽尺寸,通常为1mm x 1mm,或者0.5mm x 0.5mm。©2022 Baidu |由 百度智能云 提供计算服务 | 使用百度前必读 | 文库协议 | 网站地图 | 百度营销
8英寸晶圆作为当前主流尺寸之一,其边缘Notch口的圆弧尺寸参数直接影响光刻机对晶圆的对准精度。根据SEMIM1-1109标准定义,8英寸晶圆Notch口的圆弧半径应为1.5±0.1毫米,开口角度控制在90±5度范围,切口深度要求达到1.0±0.2毫米。这些参数看似简单,实则牵涉复杂的工程平衡。 某晶圆厂曾发生因Notch口圆弧半径超标导致整批...