其工作原理是利用化学反应将晶圆表面的材料蚀刻掉,以实现图形转移和微细加工。 二、晶圆湿法蚀刻机的加工参数和常见问题 晶圆湿法蚀刻机的加工参数包括:蚀刻液的配比、温度、流速和浓度等。而常见问题则包括:蚀刻液污染、蚀刻深度不均匀、晶圆表面质量...
其工作原理是将单晶圆放入蚀刻槽中,通过旋转装置使单晶圆均匀旋转,然后通过管道系统将蚀刻液喷淋在单晶圆表面,使其表面被蚀刻。 二、单晶圆蚀刻清洗机的应用 单晶圆蚀刻清洗机广泛应用于半导体制造中。其主要作用是清洗单晶圆表面的污染物,去除表面氧化层,以保证单晶圆表面的平整...