下列选项中,可能会造成晶圆贴膜产生气泡的是()。 A. 晶圆和蓝膜之间存在灰尘颗粒 B. 静电未消除 C. 贴膜盘温度未到设定值 D. 覆膜时蓝膜未拉紧 相关知识点: 空间与几何 平面图形 封闭图形 曲线型 圆 圆的认识 圆的概念及特点 试题来源: 解析 AC ...