金融界2024年1月27日消息，据国家知识产权局公告，绍兴中芯集成电路制造股份有限公司申请一项名为“电子辐照用晶圆载具“，公开号CN117457553A，申请日期为2023年11月。专利摘要显示，本发明涉及半导体制造技术领域，提供了一种电子辐照用晶圆载具，包括：载具单元和框架；所述载具单元具有用于放置晶圆的腔室以及开口，所...
基于X射线的晶圆级抗辐照电路测试系统是由深圳市易捷测试技术有限公司设计开发。采用10keV X射线作为辐射源开展效应试验,不仅易于实施,节省资金,在器件封装前即可对器件的抗辐射水平给出评估,是一种可行的评估器件总剂量水平的手段。10keV X射线辐射源系统可以用于完成(1)特定结构器件的基本辐射响应分析(2)用过实验结...