金融界2025年4月29日消息，国家知识产权局信息显示，颀中科技（苏州）有限公司、合肥颀中科技股份有限公司申请一项名为“晶圆洗边装置及洗边方法”的专利，公开号CN119890088A，申请日期为2025年1月。专利摘要显示，本发明揭示了一种晶圆洗边装置及洗边方法，晶圆洗边装置包括用于支撑晶圆的晶圆载台、供液装置以及连...
专利摘要显示，本申请提供一种晶圆洗边装置及采用该装置的系统，晶圆洗边装置包括托台、喷头和连杆机构，托台用于承托晶圆并带动晶圆旋转，喷头连接在连杆机构上，喷头被配置为工作时在连杆机构的控制下移动至晶圆上方，喷头喷液的方向与晶圆表面所在的平面有相交的交点喷液的方向包含所述交点所在的晶圆同心圆的切向分...
金融界2025年2月3日消息,国家知识产权局信息显示,北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司取得一项名为“一种晶圆洗边装置及系统”的专利,授权公告号 CN 222420805 U,申请日期为2024年5月。 专利摘要显示,本申请提供一种晶圆洗边装置及采用该装置的系统,晶圆洗边装置包括托台、喷头和连杆机构,托台用于承托晶圆并...
一、晶圆EBR边缘清洗的步骤 晶圆EBR边缘清洗主要包括旋涂和晶圆旋转两个步骤。具体步骤如下: 1. 旋涂操作:将EBRPG(清洗液或溶剂)涂抹在晶圆表面,使其均匀分布。 2. 引流至晶圆边缘附近:将EBRPG引流至晶圆边缘附近,以便去除边缘的小颗粒。 3. 晶圆旋转:通过晶圆旋转,可以快速去除边缘的小颗粒。边缘微小颗...
图5为本实用新型提高晶圆洗边精度的装置的工作过程图。 图6为对应于图5中步骤一至步骤四的晶圆洗边区域的状态图。 图7为本实用新型提高晶圆洗边精度的装置洗边后的仿真图。 元件标号说明 1 旋转盘 2 光刻胶 3 晶圆 4 喷嘴 5 监测装置 51 探测光发射器 ...
本实用新型的晶圆边缘清洗装置及晶圆清洗设备能够保证对晶圆的边缘的较好清洗效果的同时避免晶圆碎裂。天眼查资料显示，江苏芯梦半导体设备有限公司，成立于2019年，位于苏州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本4193.7032万人民币，实缴资本1185.8847万人民币。通过天眼查大数据分析...
示例性的,所述晶圆洗边系统还包括零标记校准系统,所校零标记校准系统用于将所光刻系统的光刻区域精确对准所带洗边晶圆上的一个待洗边芯片裸片。 示例性的,所述晶圆洗边系统包括水平校准系统,所述水平校准系统用于校准所述待洗边晶圆的水平位置以使所述待洗边晶圆保持水平。
清洗方法包括：旋转晶圆，向晶圆表面喷洒第一清洗液，以去除所述晶圆边缘的缓冲层，所述晶圆表面形成副产物印记；获取所述副产物印记的位置，记为标记位置；保持晶圆旋转，向所述标记位置喷洒第二清洗液，以去除所述晶圆表面的副产物印记；向所述晶圆表面喷洒冲洗液，以对所述晶圆进行冲洗。本申请的晶圆缓冲层边缘的...
证券之星消息,根据企查查数据显示颀中科技(688352)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种晶圆洗边系统”,专利申请号为CN202321433276.X,授权日为2024年2月23日。 专利摘要:本实用新型公开了一种晶圆洗边系统,用于半导体制造,包括:承载台、药液系统和防反溅机构,承载台用于支撑晶圆;药液系统包括洗边针头,所述洗...
金融界2025年5月10日消息,国家知识产权局信息显示,上海华力微电子有限公司申请一项名为“用于清洗晶圆边缘的滚轮及具有其的晶圆清洗装置”的专利,公开号CN119926850A,申请日期为2025年1月。 专利摘要显示,本发明提供了一种用于清洗晶圆边缘的滚轮及具有其的晶圆清洗装置,滚轮包括第一元件、第二元件、轴元件以及刷洗组...