电动滑轨上设置有晶圆承载台；设置于晶圆承载台上的至少一个滑轨缓冲模块，滑轨缓冲模块包括活动件，活动件的固定端固定于晶圆承载台上，活动件的活动端固定设置有安装件，安装件的表面固定连接有缓冲垫；控制模块，其用于：当机台正常工作时，控制活动件的活动端上的缓冲垫移动至与平台之间为预设高度的位置，使得两者不产
金融界2025年2月18日消息，国家知识产权局信息显示，无锡立朵科技有限公司取得一项名为“一种晶圆承载机构”的专利，授权公告号CN 222483338 U，申请日期为2024年1月。专利摘要显示，本申请提供了一种晶圆承载机构，包括底座、平移驱动模组、安装板、旋转驱动模组、移动平台及晶圆承载台。底座的安装部上设有安装凹槽，...
晶圆承载台的结构 晶圆承载台的结构 晶圆承载台通常配备高精度的气浮轴承，气浮轴承的工作气压一般在0.5 - 0.8MPa，能极大降低承载台移动时的摩擦力，确保晶圆放置的稳定性，其径向跳动精度可达±0.005mm。承载台的台面多采用花岗岩材质，这种材质具有良好的刚性和热稳定性，其热膨胀系数低至(3 - 5)×10^-6 ...
炒股第一步,先开个股票账户 金融界2025年6月2日消息,国家知识产权局信息显示,广东华矽半导体设备有限公司申请一项名为“探针台晶圆片承载台降温装置”的专利,公开号CN120072704A,申请日期为2025年02月。 专利摘要显示,本发明涉及晶圆加工装置技术领域,公开了探针台晶圆片承载台降温装置,包括底板,所述底板的顶部两侧均...
在晶圆的加工过程中,需要使用相关设备,对晶圆进行加工处理,例如,对其进行光刻、离子注入、机械研磨设备、光刻与涂胶设备或者硅片清洗设备等流程。在现有技术中,大多是晶圆承载台上只能放置一片晶圆,待这一片晶圆加工处理完成后,使用机械手臂等装置先将其移走,然后再移入未处理的晶圆。此种过程移动过程浪费时间较多,且...
所述机械臂用于传送晶圆至所述晶圆承载台，所述校准治具包括：第一校准件，所述第一校准件包括承载板和位于承载板的第一侧的连接部，所述承载板上设置有缺口部和第一卡接部，其中，所述连接部用于可拆卸地连接至所述晶圆承载台，所述缺口部与所述晶圆承载台上的第一凹槽位置对应；第二校准件，所述第二校准件...
第一平移驱动模组和旋转驱动模组用于驱动晶圆承载台平移及旋转，晶圆划片机构用于对晶圆承载台上的晶圆实施划片。由于旋转驱动模组安装在安装凹槽内，从而缩减了晶圆承载台和两侧支撑表面的高度差，从而降低晶圆承载台的表面倾斜度，提升晶圆划片机的划片精度。本文源自：金融界 作者：情报员 ...
专利摘要显示,本发明实施例提供一种承载台、对准方法、设备、存储介质及程序产品,其中,承载台包括:载台;探测器,设置于所述载台上方,用于获取晶圆相对于所述载台的第一预设位置的多个边缘位置数据;处理器,与所述探测器电连接,用于根据多个所述边缘位置数据,确定所述晶圆的第二预设位置与所述第一预设位置之间的位置...
▣ 真空吸盘承载 首先，我们来看看 真空吸盘（vacuum chuck）这种承载方式。它采用一定尺寸的圆形吸盘，当晶圆放置在吸盘上后，通过抽真空的方式将晶圆背面牢固吸附。在执行process时，吸盘通常会进行旋转。这种承载方式常见于诸如东京电子的Track机台或某些简易清洗机台。然而，真空吸盘也存在一定的不足，由于它直接...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶合集成（688249）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“晶圆承载装置及机台”，专利申请号为CN202421154455.4，授权日为2025年1月21日。专利摘要：本申请涉及一种晶圆承载装置及机台，包括：承载件，包括固定端、自由端及位于固定端、自由端之间的承载本体，承载本体用于承载多个...