本实用新型通过转动转动盘通过多个连接架带动多个滑块在底壳上进行滑动，且吸盘位于滑块的底部，相对的吸盘进行相对运动，使得两两相对运动的吸盘在滑块滑动调节时可适配不同尺寸的晶圆对其进行吸附作业。天眼查资料显示，源心舍建筑科技有限公司，成立于2017年，位于苏州市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资
专利摘要显示，本实用新型公开了一种适用于多尺寸晶圆的晶圆真空吸附旋转载盘，包括旋转基座、载盘组件；旋转基座具有一旋转中心轴线以及具有与旋转中心轴线同轴设置的承载端面；承载端面上分布设有吸气结构；旋转基座上设有与吸气结构连通的气体通道；抽真空装置用于对气体通道抽真空；载盘组件包括若干个内外相互套接的环...
依靠分子间作用力实现晶圆吸附。吸附盘边缘设计有防护结构。防止晶圆在放置和取出时受损。吸附盘内部有气道设计用于吸附控制。能灵活调节气流以控制吸附力度。吸附盘的颜色通常为铁氟龙原色。这种颜色与材料特性相关。 吸附盘的清洁维护有专门流程。定期清洁可保持良好吸附性能。它在晶圆搬运过程中起到关键支撑。确保晶圆安全...
晶圆吸盘又称晶圆吸附盘,指在半导体制造过程中将晶圆吸附于固定盘,以便于加工的工件。晶圆吸盘需具备吸附作用力稳定、耐磨性好、使用寿命长、耐高/低温、耐腐蚀等特性,在离子注入、刻蚀、等离子增强化学气相沉积、物理气相沉积等工艺中应用较多。 晶圆吸盘种类丰富。按照性能及吸附原理不同,晶圆吸盘可分为静电吸盘、气压吸...
晶圆生产用静电吸附盘的原理基于静电吸附现象。静电吸附是指物体表面的静电场作用下,产生静电吸引力将其他物体吸附在其表面。在晶圆生产中,通常使用的静电吸附盘是由静电场产生的吸引力将晶圆固定在工作平台上。 静电吸附盘通常由两部分组成:静电发生器和吸附盘。静电发生器通常是通过电力供应和电路控制来产生静电场。静...
苏州科阳取得增加对晶圆真空吸附力的chuck盘专利，保证晶圆在吸附过程中紧紧贴附在chuck盘上 金融界2025年1月2日消息，国家知识产权局信息显示，苏州科阳半导体有限公司取得一项名为“一种增加对晶圆真空吸附力的chuck盘”的专利，授权公告号 CN 222233602 U，申请日期为 2023年12月。专利摘要显示，本实用新型公开了一...
2025年1月2日,苏州科阳半导体有限公司宣布成功获得一项名为“一种增加对晶圆真空吸附力的chuck盘”的专利。此项专利的授权公告号为CN222233602U,申请日期为2023年12月。该技术的推出无疑为晶圆制造领域带来了新的变革,预计将在智能设备行业的生产流程中形成深远的影响。随着半导体行业对高质量和高效率的不断追求,这一...
苏州科阳取得增加对晶圆真空吸附力的chuck盘专利,保证晶圆在吸附过程中紧紧贴附在chuck盘上 |快报 返回搜狐,查看更多 平台声明:该文观点仅代表作者本人,搜狐号系信息发布平台,搜狐仅提供信息存储空间服务。
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2025年1月2日,苏州科阳半导体有限公司获得了一项重要的专利,专利名称为“一种增加对晶圆真空吸附力的chuck盘”,这是业内关注的重大技术突破。据悉,该专利的授权公告号为CN222233602U,申请日期为2023年12月。这项新技术将在提升晶圆的处理质量和良率方面发挥重要作用,进一步推动半导体制造工艺的进步。