晕环注入是一种特殊的离子注入方法,它通过大角度倾斜注入,将与衬底相同类型的掺杂离子注入到源漏区和衬底之间,形成一个高掺杂浓度的区域——即晕环(Halo)结构。这个结构的主要目的是阻止源漏耗尽区向沟道扩展,抑制短沟道效应和漏致势垒降低效应(Drain Induced Barrier Lowering, ...