暗场(Dark Field)技术是一种光学成像技术,通过检测样品散射的光线来形成图像,而不是直接透过样品的光线。这使得暗场技术对表面缺陷和微小结构特别敏感。 明场(Bright Field)技术在光学显微镜中使用,通过直接观察透过样品的光线来形成图像。在晶圆检测中,明场技术可以揭示晶圆表面的直接特征。
从技术路径上,光学检测又分为两种类型,即明场光学检测 和 暗场光学检测 。 暗场检测指的是光源发出的光线在晶圆表面反射后,目镜接收非常规反射角度的反射…显示全部 关注者1 被浏览86 关注问题写回答 邀请回答 好问题 添加评论 分享 暂时还没有回答,开始写第一个回答下载知乎客户端 ...
武汉精立电子技术申请一种照明装置专利，实现兼顾内同轴明场照明与侧光暗场照明满足缺陷检测要求 金融界 2024 年 8 月 30 日消息，天眼查知识产权信息显示，武汉精立电子技术有限公司申请一项名为“一种照明装置“，公开号 CN202410617100.2，申请日期为 2024 年 5 月。专利摘要显示，本发明公开了一种照明装置，包括...
专利摘要显示,本发明公开了一种照明装置,包括:分光结构,用于将入射光分为明场照明光束和暗场照明光束;第一转向结构,用于将明场照明光束转向,使其正向照射待测物,并使得相机透过第一转向结构拍摄待测物;第二转向结构,用于将暗场照明光束转向,使其从待测物的两端侧向照射。本发明利用几何光学原理,实现对原始光束分光利...
金融界 2024 年 8 月 30 日消息,天眼查知识产权信息显示,武汉精立电子技术有限公司申请一项名为“一种照明装置“,公开号 CN202410617100.2,申请日期为 2024 年 5 月。 专利摘要显示,本发明公开了一种照明装置,包括:分光结构,用于将入射光分为明场照明光束和暗场照明光束;第一转向结构,用于将明场照明光束转向,使...