半導体とは、電気を通す「導体」と、電気を通さない「絶縁体」の中間の性質を備えた物質です。この章では、半導体に元も多く使われている素材であるシリコンや、半導体の歴史、IC(集積回路)について説明します。
その製造現場を支えているのが、ナノテクノロジーソリューション事業統括本部が提供する半導体製造・計測検査装置です。高精度なプラズマエッチング技術に加えて、日立ハイテクのコア技術である「見る・測る・分析する」による検査・計測・解析ソリューションが、高度化する要請に応えてい...
(semiconductor metrology equipment) 半導体デバス回路パターンの各種寸法を測る装置で、測長SEM:素子/パターンの幅や径を測定、エリプソメータ:薄膜の膜厚測定、重ね合わせ検査装置:上下の重ね合わせたパターンのずれを計測する装置などがある。 参考「 2. の計測と検査 」 半導体検査 (semiconduc...
各種検査装置・計測機器で測定したデータを収集し、検査規格に基づく合否判定を実施します。管理グラフなどの表示により見える化をサポートいたします。 測定データ収集機能 VCIM-ECC 連携によるオンライン自動収集 VCIM-TRK 画面からのキー入力 ...
2001年、日製産業が日立製作所の計測器事業、半導体製造装置事業を承継。更に、株式会社日立メディコの検体検査営業グループを加えて、日立ハイテクノロジーズが誕生しました。2020年には社名を日立ハイテクに変更し、「見る・測る・分析する」というコア技術でグローバルな事業展開を行っています...
その名称は広く知られていますが、そもそも「半導体」とはどのようなものなのでしょうか。ここでは、半導体の性質と電気伝導のしくみについて解説します。 半導体の電気的性質 半導体は、一定の電気的性質を備えた物質です。物質には電気を通す「導体」と、電気を通さない「絶縁体」とがあり、半...
2001年、日製産業が日立製作所の計測器事業、半導体製造装置事業を承継。更に、株式会社日立メディコの検体検査営業グループを加えて、日立ハイテクノロジーズが誕生しました。2020年には社名を日立ハイテクに変更し、「見る・測る・分析する」というコア技術でグローバルな事業展開を行っています...
査装置・計測機器で測定したデータを収集し、検査規格に基づく合否判定を実施します。管理ラフなどの表示により見える化をサポートいたします。 測定ータ収集機能 VC-ECC 連携によるオンライン自動収集 VCIM-TRK 画面からのキー入力 検規格に基づく自動合否判定 リルタイムな不良発...