一般に300mm (12インチ) のミニエンバイロメント方式の半導体工場で使われる。内部はミニエンバイロメント方式と同程度のクリーン度を保つ。 参考「 4. CD-SEM(測長SEM)とは 」 ページの先頭へ G GTO (Gate Turn-Off thyristor ゲートターンオフサイリスタ) ゲートに逆方向の電流を流す...