“日本okamoto冈本半自动CMP化学机械抛光机spp600s”详细介绍 一、设备概要:-600S 是半自动通用抛光型设备,不仅可以处理氧化层和金属膜,而且可以去除晶圆表面损伤层。该机型装备有两个抛光头和一个定盘修正头,可实现高的吞吐量。它具有软件和触摸屏,使用操作方便。 二、设备构成: 1. 抛光头: 一个定盘,两个抛光...
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