电极共烧的工艺摸索,最终获得作用面积为5mm×6mm, 总厚度为2mm(压电陶瓷层崐为35层,每层47μm厚,上下表面层各约120μm厚) 的多层片式压电陶瓷微驱动器. 图1 多层片式压电陶瓷微驱动器器件的制作工艺流程图 图2 多层片式压电陶瓷微驱动器内电极和外电极连接的结构形式 2.2 样品测试 陶瓷单片的压电应变d3...