掩模制作厂120执行:掩模数据准备122,其中将ic设计布局112转化成可由掩模写入器物理写入的形式;及掩模工具加工124,其中修改由掩模数据准备122准备的设计布局以符合特定掩模写入器及/或掩模制造商。在本实施例中,掩模数据准备122及掩模工具加工124经说明为单独元素,然而,掩模数据准备122及掩模工具加工124可统称为掩