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专利摘要显示,本发明属于半导体检测设备技术领域,具体为一种探针台及探针台的上下料方法。包括机架、XY复合运动模组、升降供料模组、机械手模组、预对准模组与承载工作台。升降供料模组设置于机架上,用于将待测物料输送至上料工位;机械手模组包括可沿机架Y轴方向滑移的机械手臂,机械手臂用于从上料工位抓取待测物料并移送...