对真空系统抽真空后,充入一定压力的惰性气体,如氩气。在正负电极间外加电压的作用下,电极间的气体原子将被大量电离,产生氩离子和独立运动的电子,电子在电场作用下飞向阳极,氩离子则在电场作用下加速飞向阴极—靶材料,高速撞击靶材料,使大量的靶材料表面原子获得相当高的能量而脱离靶材料的束缚飞向衬底。