投影式光刻机的工作原理是将电路图案通过光线投射到光敏材料上,光敏材料受光后发生变化,从而将图像按比例放大并投影到光敏材料上,实现图形的转移。 产品优势: 投影式光刻机具有高精度、高效率和低成本等优势,它可以实现大规模的集成电路制造,并能提高生产效率,降低生产成本。 使用场景: 投影式光刻机主要用于制造集成...
其中,光源系统产生光线,投影系统将光线投射到掩模版上,掩模版上的图案将通过投影系统投射到光刻胶上。 产品工作原理: 在液浸式投影光刻机中,基片台被浸入液体中,液体中的光刻胶会根据掩模版上的图案发生光学反应。光刻胶上的分子会进行重排,从而形成电路图案。 产品优势: 液浸式投影光刻机具有高分辨率、高对比...
⑤投影式光刻机的工作原理类似于照相机。它采用投影式的工作方式,掩模与基片不再相互接触,极大地避免了对掩模或基片的损伤,而且可以加工出比掩模版图形更细小的结构。除此以外,投影式光刻机具有扫描成像的曝光能力,工作效率极高。由于卓越的性能优势,投影式光刻机自问世以来一直都是光刻机领域...
光刻机通常采用的是独立的掩膜与衬底平台(通常是硅片)移动方案,通过步进电机驱动他们按照一定的步长精准移动,以完成曝光过程。 三、曝光过程 在正式曝光过程中,掩膜和硅片被相对而接近地放置在一起,通过光学系统,曝光光线传输到硅片上,形成需要的图形投影。步进电机的精确定位和控制系统的调节能够使掩膜和...
气体隔振的原理是一种能够起支撑点、缓存、制动系统、角度调节。气体隔振减振器主要运用于起调节作用,它的作用是气弹簧的力伴随着健身运动速度的变化而改变。当正确引导气弹簧的力作用点运动更快阶段扭簧的摩擦阻力就明显扩大,但当支持力运动比较慢时,摩擦阻力则基本没有。
“浸没式”光刻机的原理是一种通过在光刻胶和投影物镜之间加入浸没液体,从而减小曝光波长,提高分辨率的技术,如图所示。若浸没液体的折射率为1. 5,当不加液体时(可视为真空)光刻胶的曝光波长为199nm,则加上液体后与不加液体相比,关于该曝光光波下列说法正确的是( ) A. 该光波在液体中的频率变为原来的 B. ...
我国某企业正在全力研发“浸没式光刻”光刻机。原理是一种通过在光刻胶和投影物镜之间加入浸没液体,从而减小曝光波长,提高分辨率的技术,如图所示。若浸没液体的折射率为1.5,当不加液体时光刻胶的曝光波长为,则加上液体后,该曝光光波( )A. 在液体中的传播频率变为原来的倍 B. 在液体中的传播速度变为原来的倍...
(2023届天津市南开区高三下学期第二次模拟考试物理试题)“浸没式”光刻机的原理是一种通过在光刻胶和投影物镜之间加入浸没液体,从而减小曝光波长,提高分辨率的技术,如图所示。若浸没液体的折射率为,当不加液体时(可视为真空)光刻胶的曝光波长为,则加上液体后与不加液体相比,该曝光光波( ) A. 在液体中的频率...
“浸没式”光刻机的原理是一种通过在光刻胶和投影物镜之间加入浸没液体,从而减小曝光波长,提高分辨率的技术,如图所示。若浸没液体的折射率为,当不加液体时(可视为真空)光刻胶的曝光波长为-e卷通组卷网